洁净室天车的静电问题

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洁净室天车的静电问题是核心安全与质量隐患,可能损坏精密器件、引发粉尘吸附或火灾风险。
静电产生的核心原因
天车运行时,车轮与轨道摩擦、吊索与工件摩擦会产生摩擦静电。
洁净室湿度通常较低(部分场景≤50% RH),干燥环境会降低空气导电性,导致静电难以消散。
天车部件(如塑料外壳、绝缘吊具)或工件(如半导体、塑料件)多为绝缘材质,静电易积累。
洁净室气流循环快,气流与天车表面、工件的相对运动也会加剧静电产生。
静电带来的主要危害
损坏精密产品,比如半导体芯片、电子元器件等,静电放电可能击穿内部电路。
静电吸附空气中的尘埃粒子,破坏洁净室的洁净度,影响产品生产质量。
若洁净室存在易燃气体、粉尘,静电放电可能引发燃烧或爆炸。
静电会影响天车电气控制系统的稳定性,可能导致传感器误触发、控制失灵。
关键解决与防控措施
做好接地处理,天车本体、轨道、吊具需可靠接地,接地电阻应≤10Ω,确保静电通过接地导出。
控制环境湿度,在不影响生产工艺的前提下,将洁净室相对湿度维持在 45%-60% RH,提高空气导电性。
选用抗静电材料,天车的吊索、滚轮、外壳等部件采用抗静电材质,工件包装或接触部件使用导电 / 抗静电材料。
配备静电消除装置,在天车作业区域安装离子风机、离子风棒,中和空气中的静电电荷。
定期检测维护,定期测量天车静电电位、接地连续性,及时更换老化的接地装置或抗静电部件。
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